その他マスフローコントローラー　5SLM-N2 1個 C1005 [15186577]

Name: その他 マスフローコントローラー 5SLM-N2 1個 C1005
SKU: 15186577
Price: 83870 JPY
Availability: InStock
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販売価格: 83,870円(税込)

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商品詳細

●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
●フルスケール流量：5SLM-N2
●ガス種類：N2
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15〜35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5〜100％FS
●入出力：アナログ信号（0〜5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50〜300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％　60mA、−15VDC±5％　150mA
●通信方式：アナログ0〜5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm